プロジェクト
単結晶炉の高効率投入およびドーピング吊り上げ一体化技術の研究
本プロジェクトは、単結晶シリコン生産における投入・ドーピングの段階的な作業で発生する、低効率・高損失・均一性不足・炉体損傷といった課題を解決するため、高効率投入、精密ドーピング、インテリジェント吊り上げを統合した協調制御技術の開発を目指します。投入構造とドーピング量制御を最適化することで、工程をシームレスに統合し、生産効率の向上、製品品質の確保、コスト削減を図ります。
単結晶炉るつぼトレイの吊り上げおよび炉解体保護に関する重要技術の研究
本プロジェクトは、単結晶炉るつぼトレイの吊り上げ時の安定性不足と解体時の脆弱性という課題に着目し、高精度吊り上げと全工程保護技術の開発に取り組みます。伝動構造とクローズドループ制御を最適化することで、位置決め誤差を≤0.1mmまで改善し、段階的冷却とフレキシブル保護システムを構築して、国産単結晶炉設備の性能向上、シリコン材料汚染および設備損傷の防止を図ります。
結晶棒の欠けのない切断技術の研究
本プロジェクトは、結晶棒の切断工程で発生する端部の欠け、亀裂、表面損傷の課題に対応することを目的としています。精密な力制御による切断およびノッチ緩衝保護技術を開発し、工具構造と工程パラメータを最適化するとともに、インテリジェント監視システムと連携することで、欠けや亀裂のない切断を実現し、結晶棒の歩留まりと切断面の平坦性を向上させ、後工程のコストを削減します。
